Cerințe de protecție ESD pentru camere curate
Indiferent de modul în care se schimbă condițiile de aer extern, Cleam Room poate menține caracteristicile de curățenie, temperatură, umiditate și presiune așa cum au fost setate inițial.
Funcția principală a camerei curate este de a controla curățenia, temperatura și umiditatea atmosferei cu care sunt în contact produsele (cum ar fi așchii de siliciu etc.), astfel încât produsele să poată fi produse și fabricate într-un spațiu de mediu bun. Acest spațiu se numește" camera curată"" ;.
Conform standardelor internaționale, nivelul camerei curate se bazează în principal pe numărul de particule pe metru cub de aer al cărui diametru este mai mare decât standardul de clasificare.
Camera curată trebuie să fie amenajată în conformitate cu următoarele cerințe:
1. Podea antistatică: rezistență punct-la-punct< 10e9ω;="" rezistență=""><>
2. Panou anti-static: rezistență punct-la-punct< 10e9ω;="" rezistență=""><>
3. Fereastra anti-statică: rezistență punct-la-punct< 10e9ω;="" rezistență=""><>
4. Sistem de împământare fiabil: rezistență punct-la-punct<>
5. Sistem de ionizare a aerului: Determinați intervalul de tensiune de echilibru și timpul de dezactivare în funcție de tehnologia procesului. Recomandare: tensiune de echilibrare< ±="">