Adsorbție electrostatică a ventilatorului de ioni
În industria LCD, substratul de sticlă devine mai mare, iar capacitatea de a atrage încărcături este de asemenea îmbunătățită. Datorită dimensiunii mari a substratului, orice contaminare poate duce la o scădere a randamentului. Ca și în alte industrii de control al poluării, industria LCD a căutat materiale noi care pot rezolva problemele ESD. Materialele folosite în camerele curate sunt, de asemenea, mult mai probabil să utilizeze suflante cu ioni antistatici, iar materiale noi pot fi încercate pe tampoane de bumbac și cârpe în loc de materiale tradiționale.
Cea mai mare problemă cu controlul ESD într-o cameră curată este mișcarea oamenilor în camera curată. Pentru că oamenii poartă o mulțime de țesături de poliester, ele generează o mulțime de încărcături electrice. Singura modalitate de a elimina această încărcătură într-o cameră curată este de a împrăștia.
În ultimii cinci ani, sa constatat că un sistem de îmbrăcăminte fabricat dintr-un amestec de fibră de carbon și țesătură oferă cerințe de cameră curățate pentru ISO 5 (clasa 100).
Fiecare parte a îmbrăcămintei are aceeași conductivitate electrică și are o legătură conductivă electrică de la capota la talpă. Persoanele care lucrează într-o cameră curată pot trece prin talpa conductivă fără a se împrăștia atunci când poartă astfel de haine, astfel încât acestea să nu fie limitate de lungimea firului de împământare.
Apariția unor astfel de haine de lucru este rezultatul unor exigențe ridicate asupra produsului, care ajută la reducerea randamentului scăzut și a ratei ridicate a ratei de rău cauzate de problemele de ESD în camera curată.
Nu există nici o metodă de reparație rapidă și ieftină pentru controlul ventilatorului ESD. Cheia este aceea de a controla ESD, cum ar fi un ventilator cu flux laminar suspendat, sau de a instala un ventilator ion lângă materialul care trebuie să controleze ESD. Pe măsură ce dimensiunea chipului (IC) scade, devine mai sensibilă la ESD. Acum, controlul ESD nu se limitează la protecția rețelei de lucru, ci și la controlul plachetei și a personalului care produce placheta. Multe companii cu standarde ridicate controlează ESD în acest fel.
